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3D융합 광학부품 측정기 이전설치 및 점검 용역

2026. 09.

한 국 광 기 술 원

목 차

Ⅰ. 사업개요 3

Ⅱ. 세부수행내용 4

Ⅰ. 사업개요

1. 용역명

3D융합 광학부품 측정기 이전설치 및 점검 용역

2. 용역기간

착수일로부터 1개월이내

3. 소요금액

40,389,800원(부가세포함)

4. 배경 및 목적

○ 해당 용역 구매는 기보유 장비인 3D융합 광학부품 측정기 (제조사 : Roykosha, 일본)의 장비 이전 및 집적화를 통해 광학부품 및 반도체 공정샘플의 측정지원을 확대하기 위한 용역 구매임

기보유장비 : 3D융합 광학부품 측정기 (NH-5SPs)

(NFEC-2018-01-241840, 자산번호 2170003130000)

이전장소 : 3D융합상용화센터(광주 북구 추암로)→ 초정밀광학동(광주 북구 쳄단벤처로, 한국광기술원 본원)

활용분야 : 광학부품 측정, 웨이퍼면 측정, 디스플레이면 측정, 미세 패턴 불량

(MTF, EFL, Roughness, 3D Profile, Plane error 등)

5. 용역내용

○ (장비이전)

- 3D융합 광학부품 측정기 (제조사 - Roykosha, 일본)의 장비 이전(3D융합상용화센터→초정밀광학동) 및 이전

- 해당 용역은 장비의 측정 신뢰성 확보를 위해, 기보유 장비의 제조사인 Ryokosha사의 작업기준에 의거, 인증받은 자가 이전 설치 하여야 함

○ (이전후 장비 점검)

- 이전후 장비의 정상 작동 확인

- 제조사 표준 절차에 의한 측정평가 및 장비 설치 기준 만족

- 점검 결과서 제출 (제조사 양식)

Ⅱ. 세부수행내용

1. 장비 이전설치 작업내용

- 이동전 동작확인 및 간이정밀도 확인

- 전원, 에어차단, 분해, 이동준비용 포장