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과 업 지 시 서

3D융합 광학부품 측정기 이전설치 및 점검 용역

2026. 09.

한 국 광 기 술 원

桤灧 목 차

Ⅰ. 사업개요 脴 ȃ 3

Ⅱ. 세부수행내용 畼 ȃ 4

Ⅰ. 사업개요

1. 용역명

3D융합 광학부품 측정기 이전설치 및 점검 용역

2. 용역기간

착수일로부터 1개월이내

3. 소요금액

40,389,800원(부가세포함)

4. 배경 및 목적

○ 해당 용역 구매는 기보유 장비인 3D융합 광학부품 측정기 (제조사 : Roykosha, 일본)의 장비 이전 및 집적화를 통해 광학부품 및 반도체 공정샘플의 측정지원을 확대하기 위한 용역 구매임

기보유장비 : 3D융합 광학부품 측정기 (NH-5SPs)

(NFEC-2018-01-241840, 자산번호 2170003130000)

이전장소 : 3D융합상용화센터(광주 북구 추암로)→ 초정밀광학동(광주 북구 쳄단벤처로, 한국광기술원 본원)

활용분야 : 광학부품 측정, 웨이퍼면 측정, 디스플레이면 측정, 미세 패턴 불량

(MTF, EFL, Roughness, 3D Profile, Plane error 등)

5. 용역내용

○ (장비이전)

- 3D융합 광학부품 측정기 (제조사 - Roykosha, 일본)의 장비 이전(3D융합상용화센터→초정밀광학동) 및 이전

- 해당 용역은 장비의 측정 신뢰성 확보를 위해, 기보유 장비의 제조사인 Ryokosha사의 작업기준에 의거, 인증받은 자가 이전 설치 하여야 함

○ (이전후 장비 점검)

- 이전후 장비의 정상 작동 확인

- 제조사 표준 절차에 의한 측정평가 및 장비 설치 기준 만족

- 점검 결과서 제출 (제조사 양식)

Ⅱ. 세부수행내용

1. 장비 이전설치 작업내용

- 이동전 동작확인 및 간이정밀도 확인

- 전원, 에어차단, 분해, 이동준비용 포장

- 반출입회 및 반입입회

- 포장해체입회, 조립, 설치, 기동, 간이정밀도 확인

- 교정, 검수

2. 이전후 장비 교정 및 Maintenance 내용

- X축 및 Y축 이송정밀도의 확인과 교정

- Z축 및 AF 축의 이송정밀도의 확인과 교정

- Auto Focus 동작의 재현성

- Laser 출력확인

- 각축의 미끄럼부, 노출개소의 청소 및 구리스작업

- AF 이송 Screw 분해청소

3. 검수기준

- Auto Focus error : ± 1um 이하

- Z axis accuracy : ± 1um 이하

- Repeatability of Auto Focus : ± 0.03um 이하

- X, Y axis error : ± 0.6um 이하, ± 0.8um 이하

* 위 검수기준은 이전 전후의 장비정밀도 및 장비이전 용역의 완수여부를 판단하기 위한 값으로, 장비 이전전 사전점검 결과가 위 기준값에 미달할 경우 이전전 사전점검 결과를 기준으로 함

4. 용역 제외 내용

○ 장비 사용으로 인한 노후화

- 광원출력저하, 소모성 부품

5. 하자 보장 기간과 범위

○ 완료일부터 3개월 이내